文章出处:jingmen.hbzyqt.com | 发布时间:2026-07-02 15:31
1. 气体浸透性。对于运送ppm级及更高纯度要求的气体,从气体浸透视点有必要选用不锈钢管或许钢管。如果不恰当地选用了不符合要求的管道资料,那么,不管采取什么净化手法,都将是无济于事的。
2. 出气速率。资料冶炼过程形成的管道资料晶间或许晶格内部存在着某些杂质,如氮、碳氢化合物等,在高纯气体运送过程中,这些杂质会缓慢地释放出来,污染高纯气体,尤其是杂质要求在ppb以上级的高纯气体。通常低碳不锈钢管的出气速率低。
3. 吸附性。由于水分等杂质是极性分子,吸附性很强。橡胶、塑料或一些外表粗糙的资料极易吸附水分等杂质,铜材对水吸附性极强,运用这些资料运送高纯气体易被污染。除了运送ppm级以下的氧气会运用紫铜管外,高纯气体都不选用铜管和塑料管。气体会接触到的垫片、填料也不得选用橡胶、塑料资料(包括聚四氟乙烯)。
4. 外表粗糙度和耐磨性。为了确保运送的气体纯净度,要求管道资料内外表有一个较高的亮光度,这样能够防止污染粒子及湿气在管壁滞留。管材比较亮光而且耐磨,能够在气流高速冲刷下发生金属粒子较少,不锈钢比铜管发生粒子要少,所以不锈钢管耐磨性优于钢管。
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